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formfactor 的 cascade pm8 手动探针系统旨在为高达 200 mm 的分析探测应用提供高度稳定、符合人体工程学和灵活的探测平台,例如器件和晶圆表征、故障分析 (fa)、rf/mmw/sub-thz探测和 mems。创新的精细滑动卡盘平台提供大范围粗动和微米级微动,
简化测量。花岗岩板可以承受任何热或机械影响,并确保完整的系统稳定性。pm8 的坚固结构非常适合所有高达亚太赫兹范围的射频应用,由 wincal xe 校准软件支持,包括 lrrm、lrm 、nist 风格的 trl 和混合校准方法。
独特的可移动显微镜桥选件可轻松且符合人体工程学地对高达 200 毫米的观察系统进行粗调和微调,从而使所有 fa 和检测任务以及晶圆级可靠性 (wlr) 测试变得容易。pm8 可以使用各种附件进行升级,例如用于 fa 应用的激光切割机和遥控手动定位器,以及用于校准基板和抛光垫的特殊设计的卡盘,用于高频应用。探针卡可以很容易地用于测试,并且可以通过少的设置调整来测试封装的部件。
高稳定性花岗岩底座
x 轴和 y 轴的独立粗略移动,结合低至亚微米范围的轻松微调
1 µm 可重复分离行程
高测量精度和可重复性
快速导航和高精度探头定位
可针对 dc、rf、mmw、fa、wlr 等重新配置
多种附件:热卡盘、电动显微镜和定位器、暗盒等
40 毫米压板高度可调
升级路径以满足您未来的需求
晶圆和封装测试之间的快速转换
低调、简单的设计
简单且符合人体工程学的操作
正面或背面仪器,例如:积分球、光纤设置、压力模块
正面或背面探测能力
访问被测设备 (dut) 的顶部和底部
高精度光测量
ps-acc-hdtv:
兼容 eps200mmw、eps200rf、pm8-coax-pckg、pm8-coax-hr-pckg 和 pm8-fa-pckg 的 c 接口数字电视选项
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