ichor隔膜阀cdv-尊龙凯时网址

常规隔膜阀（cdv）系列包括超高纯版本，根据相关semi规范制造，具有更高的可靠性。

• 阀座设计和双层隔膜可延长循环寿命并减少颗粒产生。
• 完全清扫润湿路径，以减少截留，促进吹扫，更大限度地提高cv，同时更小化内部体积。
• 气动执行器可在执行时快速响应。
• 手动和混合执行器指示可视的四分之一圈打开和关闭位置。
• 可根据要求提供自定义配置。

1、 阀体316l sst semi f20

2、 阀座pctfe

3、 隔膜elgiloy

4、 按钮316l不锈钢

5、 阀盖303 sst

6、 螺母303 sst

7、 执行机构阳极氧化铝

产地：美国

气动工作压力：真空至150 psig

¼手动工作压力：真空至250 psig

混合工作压力：真空至150 psig

防爆压力：1.5 x工作压力

爆裂压力：4500 psig

表面粗糙度

标准：≤16 ra µ inch

高纯度：6-10 ra µ inch

超高纯度：≤5 ra µ inch

流量系数：cv=0.3

气动执行机构驱动压力：65-125 psig

卡套管集成接头：1/8“-27 npt 1/8”，m5气动或1/8“

手动和混合执行器：¼转手动

内侧泄漏率：≤10-9 atm cc he/sec

外侧泄漏率：≤10-9 atm cc he/sec

通过阀座的泄漏率：≤10-9 atm cc he/sec

温度，阀座材料：

-40°f至150°f（-40°c至66°c），pctfe

-40°f至300°f（40°c至150°c）、peek

-15°f至300°f（-10°c至150°c），pfa，vespel