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产品介绍
mprobe 20是一种用于全球数千个应用的薄膜厚度测量台式系统。它只需单击鼠标即可测量薄膜厚度和折射率。可以快速可靠地测量1nm至1mm的厚度，包括多层膜堆叠。不同的mprobe 20模型主要通过光谱仪的波长范围和分辨率来区分，这反过来决定了可以测量的材料的厚度范围和类型。该测量技术基于光谱反射——快速、可靠且无损。
性能特点
- 灵活：模块化薄膜厚度测量系统：为您的应用选择更好配置，并在需要时轻松升级
- 精度：<0.01nm或0.01%
- 材料：500 扩展材料数据库
- 软件：用户友好且功能丰富的tfcompanion软件甚至可以处理复杂的应用程序。层数无限制，支持背面反射率、表面粗糙度、暗度等。
- 集成：轻松集成tcp服务器
- 实时、一键测量和分析
- 测量历史：调用/显示测量结果和统计数据
技术参数
产地：美国
精度：＜0.01nm或0.01%（在200nm氧化物上进行100次测量的s.d.）
<1nm或0.2%（依赖于胶片堆栈）
稳定性：＜0.02nm或0.2%（20天，每天测量）
测量厚度：1nm至1mm
光斑尺寸：<1mm
样品尺寸：>=10mm
主机：包括光谱仪、光源、光控制器微处理器
样品台：sh200a
探头：光纤反射
测试样品：200nm氧化硅或pet薄膜
电缆：usb或lan
电源适配器：24vdc
电压：110/220v