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产品介绍
压力控制
该控制器可确保快速，准确的压力控制。操作learn功能只需启动一次，系统参数是自动确定的。由于自适应算法的控制器连续适应于加工过程条件（气体、气体流量），从而确保在任何时候都有压力控制。
位置控制
在位置控制模式下，阀板可以移动到任何位置。
显示
状态和位置是4位的数字显示。
遥控操作
所述阀可以由主机计算机通过rs232、rs422、rs485、logic、devicenet、以太网、现场总线、cc链路或ethercat的接口进行控制。 rs232接口与现场总线也有数字输入以关闭和打开所述阀。此外，数字输出可用于开放和关闭（阀的状态）。控制通过逻辑控制接口，通过数字以及模拟输入和输出进行。
应用
半导体，fpd和工业过程，特别是化学气相沉积系统。
规格参数
内径（id）：63mm（2 1/2"）
法兰：iso-f（符合iso1609）
阀体材质：铝合金硬质氧化
执行器：rs232接口/1个传感器
压力：最大1.2bar（绝对压力）
密封技术：回转馈通（双密封）
密封材料fkm（viton）
分子流导：ls-1 220
关闭或打开时间：0.6s
阀体温度：最高120℃
执行器温度:最高50℃
重量:3.8kg