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产品介绍
heimann真空传感器hvs系列包含采用硅微加工技术的新型创新传感器芯片。硅批处理技术可实现小型化和低成本大批量生产。特殊要求可以从1e-5mbar到1e-2mbar的标准测量范围扩展到1e-1mbar。heimann真空传感器hvs是微型皮拉尼（pirani）型传感器，基于薄微机械膜上的加热电阻器结构，传感器采用小巧耐用的to型金属外壳。
规格参数
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参数 |
hvs vac03g |
hvs vac03k |
hvs vac04 |
单位 |
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外壳 |
to8 |
to39 |
to39（单个） to8（双） |
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芯片尺寸 |
5.2x5.2 |
4.0x4.0 |
1.2x1.2 |
mm2 |
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传感器电阻rp（典型值） |
8.5 |
8.5 |
1 |
kohm |
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片上参考电阻rk（典型值） |
8.5 |
8.5 |
1 |
kohm |
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电源电压u0 (max.)
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3.5
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3.2
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4（1..1000 mbar） 2（p <1 mbar） |
volt |
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工作温度 |
-20..120 |
°c |
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储存温度 |
-40..120 |
°c |
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