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宽fs流量范围,气体的测量和控制,<3ccm到2500 lpm(n2当量)
精度:高达1200 lpm:±1.0%(20%-100%fs)1.0%±0.2%fs(低于20%f??s)
1200-2500 lpm:±1%fs包括线性度
业界先进的传感器的稳定性,长期漂移性能,每年< 0.2%
通过减少维护和消除周期调整,增加系统的吞吐量
可达10个可选择校正曲线存储
弹性过程连接选项符合ansi / isa sp-76标准
简化了安装和维护过程,工作更加有效率
控制响应:
软启动可用于定制mfc性能,工艺要求。
专有自适应阀控制,这保证了过程压力的意外变化不会导致流量从设定值偏离
brooks instruments是专注于提供压力测量仪器的制造商,成立于1946年,总部位于美国宾夕法尼亚州,面积达到28000平方英尺。现在,公司分设了多个不同的机构,提供更加细致专业的仪器产品。本着为市场负责的原则,其一直坚持着在质量把控方面一丝不苟的态度,坚决生产出高质量、高精准度、使用寿命长的专业仪器。产品可用于医疗、水、化学、实验室、气体、半导体、太阳能、电子等行业。
流量范围:fs范围100-2500 lpm
重复性:±0.20%
温度敏感性
零:每摄氏度小于0.05%fs
跨度:每摄氏度小于0.05%fs
质量流量控制器
sla5850, sla5851, sla5853
质量流量计
sla5860,sla5861, sla5863
其他产品型号
brooks控制器s124y059aaa
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