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产品介绍
agilent varian sh-110泵拥有先进的功能，包括4.0cfm抽速以及5.0×10 -2托的最终压力。sh-110干式涡旋真空泵的设计便于集成到原始设备制造商（oem）系统。这种单级泵为110升/分钟的泵送速度（60赫兹功率）和50毫托（0.07毫巴）的极限压力，是最终用户理想的应用程序。sh-110泵符合欧盟指令（ce），加拿大标准委员会（csa）和semi s2-0200的要求。
特点：
低温运行
1/4低功耗马力电机
内置排气阀，低噪音的生产
排气口可移动，在狭小的空间仍具有灵活性，
高压条件下高抽速，可快速抽气
低重量，装有方便的提手
内置故障安全隔离阀，保护真空系统
通用100-230 vac电源，方便全球安装
自动空气镇流器进行有效的水分处理
快速密封替换，实现低成本使用
规格参数
泵速峰值：60 hz，110 l/m, 6.6 m3/hr, 4.0 cfm；
50 hz，90 l/m, 5.4 m3/hr,3.3 cfm
极限压力：5.0×10-2托（6.6×10-2毫巴）
最大进口压力：1个大气压
最大出口压力：1.5个大气压
入口连接：nw25 kf法兰
排气连接：1/4-in. female nat’l管螺纹
排气连接适配器：nw16 kf适配器提供
工作环境温度：5至40℃
存储温度：-20至60℃
电机功率：0.25马力（0.19千瓦）
供电：单相，50-60赫兹，100-115 / 200-230 vac
电机过热保护：自动
转速：1725 rpm， 60赫兹
1425 rpm，50赫兹
冷却：风冷
重量：19.5千克（43磅）
限制：无腐蚀性，爆炸性，或颗粒状成形气体
泄漏率（排气密封）：<1×10-7 std-cc / sec氦气