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horiba高温应用质量流量控制器sec-8000 系列

  • 品牌:horiba
  • 型号:sec-8000 系列

产品介绍

概要

质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量,但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响,如需精确测量,需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量,是利用测量气体的质量,而质量是不受外界的环境的影响,从而可以提供高精度流量检测和控制,且在半导体制造制程有广泛的使用。

特征

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

适用于高温:可满足150℃烘焙产品阵容中有可满足使用温度的产品型号超清洁类型:接气部全不锈钢构造最适于mocvd用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制

规格参数

sec-8340sl 搭载有主体加温加热器

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:80?100℃

sec-8340sm 本体加温ヒータ搭載

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:100?120℃

sec-8440lsl

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2/3/5 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:15?35℃

sec-8450lsl

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:15?35℃

sec-8455lsl

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

30/50 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:15?35℃

sec-8460lsl

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

50/100 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:15?35℃

sec-8440lsm

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2/3/5 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:35?60℃

sec-8450lsm

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:35?60℃

sec-8455lsm

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

30/50 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:35?60℃

sec-8460lsm

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

50/100 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:35?60℃

sec-8440lsh

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2/3/5 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:60?80℃

sec-8450lsh

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:60?80℃

sec-8455lsh

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

30/50 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:60?80℃

sec-8460lsh

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

50/100 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:60?80℃

sec-8440sl

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:80?100℃

sec-8450sl

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

3/5/10 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:80?100℃

sec-8455sl

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:80?100℃

sec-8460sl

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

20/30/50 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:80?100℃

sec-8440sm

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

5/10/20/50/100/200/500 sccm 1/2 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:100?120℃

sec-8450sm

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

3/5/10 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:100?120℃

sec-8455sm

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

10/20 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:100?120℃

sec-8460sm

 

气体接触部材质

sus-316l

阀门类型

no: 非通电时:开

标准流量量程

20/30/50 slm

流量控制范围

2?100% f.s.(满量程)

流量精度

±1.0% f.s.(满量程)  使用温度:100?120℃

产品应用


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