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kla-tencor candela cs20 系列光学表面分析仪 (osa) 可对半导体与光电子材料进行先进的表面检测。cs20 系列检测能够为硅 (si)、砷化镓 (gaas)、磷化铟 (inp) 等不透明基板，以及碳化硅 (sic)、氮化镓 (gan)、蓝宝石和玻璃等透明材料的检测提供工艺控管和良率改善。
cs20 系列采用光学表面分析(osa) 专有技术，可同时测量散射强度、形状变化、表面反射率和相位转移，为日益增大的特征缺陷 (doi)进行自动侦测与分类。osa 检测技术结合散射测量、椭圆偏光法、反射测量与光学形状分析等基本原理，以非破坏性方式对硅片表面的残留异物、表面与表面下缺陷、形状变化和薄膜厚度均匀性进行检测。cs20 系列拥有极高的灵敏度、吞吐量和多功能性，适用于工艺开发和生产工艺控管，是一套极具成本效益的人生就是博手机版的解决方案。

• 单次扫描中结合四种光学检测方法的单机人生就是博手机版的解决方案，可实现很高效的自动化缺陷侦测与分类
• 满足多种工业要求，包括高亮度发光二极管 (hbled)、高功率射频 (rf) 电子装置及玻璃展柜等技术
• 2英寸硅晶片吞吐量高达每小时40片，8英寸硅晶片吞吐量高达每小时20片
• 采用高级算法，可处理各种材料超过 30 个dois的缺陷分类
• 快速的完整硅晶片粗糙度监控与表面均匀度测绘