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产品介绍
mps系列可以通过监控过程条件、检测污染物和检查泄漏来帮助您优化过程。提供 100 amu 和 200 amu 两种版本，能够灵活地执行各种功能，包括一般泄漏检测、真空诊断和碳氢化合物分析。
性能特点
- 双灯丝
- 现场可更换电子倍增器
- 可现场更换的阳极、阴极和排斥极灯丝组件
- 可互换的传感器和电子设备
- tcp/ip 以太网连接
- 较短的传感器可max限度地减少安装空间
- max模拟扫描和选定峰值的每点数据速率为 3 ms
- mdpp <1.5e-14 torr
- 传感器在洁净室环境中组装、测试和双重包装
技术参数
- 传感器长度：14.3 厘米
- 质量范围：100 amu
- 探测器类型：fc
- 灵敏度 (fc)：3e-4 amps/torr
- 灵敏度 (em):na
- min可检测分压 (3)：2.6e-12 torr
- max传感器工作温度 (fc):200°c
- max传感器工作温度 (em):不适用
- 灯丝类型选项：双 y2o3/ir 灯丝
- 分辨率 (1)：<1 amu 宽
- 温度系数 (2)：<1%/°c
- 每点max数据速率：3 ms
- 零爆炸（@质量 2）：<100 ppm
- max工作压力：5e-4 torr
- max烘烤温度：300 °c
- 电源输入：20-30 vdc